如有要求，真空蚀刻线可安装有利环保的再生系统：，根据HUMLEITEC研发的技术，不再使用过氧化氢，使用空气中的氧，即不需另外添加纯氧，重新氧化铜氯化物溶液。在长时间的实际应用中，已证明了采用这种技术的系统是成功的，而且很快就可收回投资成本。