Akrion,Inc.日前在美国联邦法院向SolidStateEquipmentCorporation（以下简称SSEC）提起诉讼，状告后者侵犯了其6项与兆声辅助清洗相关的专利。Akrion声称，SSEC销售的部分单晶圆兆声清洗设备侵犯了Akrion拥有的一项或多项发明专利。

    Akrion公司总裁JimMolinaro表示：“Akrion一直以来积极开发应用于单晶圆和批量晶圆处理的兆声辅助清洗技术。公司会尽力保护自身知识产权，特别是在涉及单晶圆兆声辅助清洗技术方面时。”
 

   Akrion称，公司在全球共拥有100多项已授权专利和70多项未决专利。