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芯片电阻制程中厚膜印刷之免试印作业探讨
其计算结果如表五所示。 推论检定结果:由Excel 所计算出来的结果中可发现,检定统计值F0=2.0918 介于临界值F1 与F2之间(F2≦F0≦F1),因此落在接受域范围内,表示30N 网版膜重变异与20N 网版膜重变异无显著的不同。 得知30N 网版印刷膜重与20N 网版印刷膜重之变异数相等后,即可使用两母体平均数假设检定来判断30N 网版之印刷膜重是否大于20N 网版之印刷膜重。 结论: 本次膜重试验中,取不同张力的网版进行检测,可归论出下列四点: 1. 张力30N 的网版所印出的电阻层膜重明显地大于张力20N 网版印出的电阻层膜重。 5.2 实验二: 膜重与电阻值差异性之探讨 实验二固定网版与其他制程参数,只有变动印刷的次数来改变其膜厚,印刷膜重在此取出三水平(膜重0.027g、膜重0.03g 与膜重0.033g)实验五次,使用实验设计的方法,将每次实验的顺序使用随机数的方式来决定,并检定不同膜重彼此间电阻值是否有差异[8]。 一片氧化铝基版中有数百个至数千个芯片电阻,量测时采用分层抽样的方式。本研究每片氧化铝基版抽样样本数为25 个芯片电阻,其中每一个黑色的方块表示一个芯片电阻及其抽样位置,量测方式如图十三所示。 实验二所量测的平均电阻值如表七所示。 为了检定3 种不同膜重的平均电阻值是否相等,令μ1,μ2,μ3,分别为3 种不同膜重,并设立假说检定。
为了检定3 种不同膜重的平均电阻值是否相等,令μ1,μ2,μ3,分别为3 种不同膜重,并设立假说检定。
计算后得ANOVA 表如表八所示 结论 因为检定统计量F=1149.559>临界值3.885,落在拒绝域,故拒绝H0,可推测结论为3 种不同膜重中至少有一种膜重的平均电阻值不相等,但是如果要看出其中的差异性,以及是否三者彼此间全都不相等, 就必须再使用LSD(Least Significant Difference)法做比较。 最小差异性法(LSD)[8]
5.3 实验三: 膜重、配比与电阻值相关性探讨 由实验二中得知膜重不同所得到的电阻值也不相同,因此可以进一步探讨当膜重渐增时,相对于电阻值所造成的影响情况会如何。如果有趋势性的情况发生,即可利用回归分析的方式[2],找出膜重与电阻值间的关系式。 免试印制程阶段性实验结果 将原料胶体混合后,依照不同的配比之权数,进行回归分析,其样本数据如表九所示。 自相关系数之表中可得知,电阻值与调胶配比的相关性高达-0.993,并且在显著水平α=0.01 时相关性仍然呈现显著的情况,如表十所示。 本实验采用二维回归方程式,计算后发现R Square 仍然相当高,因此可得知2 次混合的结果并不会影响回归方程式的配适度,其回归分析所得的结果如表十一所示。 Y = 30 .39 X 2 - 128 .98 X + 190 .824 由图十四可观察得知,当配比越大时电阻值越小,而数据本身呈现二次式曲线的关系,并非完全呈线性关系,此实验的结果说明往后可使用改变电阻值区间的方式,进行回归方程式数据的收集,估计在20 种区间中各计算出一组回归方程式,利用这些方程式将可作为调胶配比的重要依据。 六、结论与未来研究方向 6.1 结论 本研究案虽然提供一个研究免试印的另一种方法,但是由于时间、成本以及生产技术等影响因素的存在,使得实验目前尚停留在初步的阶段,而本实验所搜集样本及研究的结果,只提供作为免试印制程的初步的预测及评估。如要真正达到免试印的制程,必须还要搜集更多的样本数据,克服实验过程中所能控制因子的不稳定性,以确保结果的可信度,在0805 的型号推行成功后,再进而发展其他尺寸的制程。 6.2 未来研究方向 由于本实验的范围界定在初步试验的情况,虽然有发展出新的解决方案,然而也可能因为实验的次数及其他未能控制的变因导致推行免试印时产生困难。本实验主要探讨是否能在大量印刷之前预估配比而达到所需要的电阻值,因此未来需要继续收集实验的数据,并依照实验的结果,审慎地订定研究的方向;另外即使能够准确的预估到印刷后所得到的平均电阻值,若能够对于电阻值本身所产生的变异进行研究,则更能使产品在量与质上皆能有所提升。 表十. 相关系数表
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