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芯片电阻制程中厚膜印刷之免试印作业探讨

 更新日期: 2007-7-25 10:57:55  作者:     来源: pcbtn


      因为原料供货商所供应的原料胶体阻值是变动的,因此在订购β与γ此两种原料胶体后,所得到的胶体电阻值也无法固定,在此假设所购入的胶体电阻值分别为αw、βx、γy 与,λz 设其中w、x、y及z 为变量,若需求电阻值为eΩ分布在区间[β,γ]之内,则调配的步骤可分述如下:

1. 评估目标阻值eΩ位于哪一个调配区间(如区间[β,γ] )。
2. 将由原料厂商取得之胶体βx 调配成区间[β,γ]之下边界阻值β。
3. 将由原料厂商取得之胶体γy 调配成区间[β,γ]之上边界阻值γ。
4. 利用β与γ两种胶体混合调配成所需之电阻值eΩ。

      由于βx 为一变量,因此需调配成为固定常数之区间[β,γ]下边界阻值β,其调配流程如图六所示。
可得上边界阻值β调配通式为:

 
其中β为常数,βx、γy 及αw 为变数。
由于γy 为一变量,因此需调配成为固定常数之区间[β,γ]上边界阻值γ,其调配流程如图七所示。
可得下边界阻值γ调配通式为:

 
其中γ为常数,βx、γy 及λz为变数。

     (2)方法B 之调配方式

     方法B 的调配方式为改变阻值区间,也就是将原先的四种胶体阻值α、β、γ及λ扩大其区间的范围,使成为[α1,α2]、[β1,β2]、[γ1,γ2]与,[λ1,λ2]等,其区间所分布的状况如图八所示。

 
图五. 电阻胶体混合示意图

 
图六. 方法A 之β调配方式

 
图七. 方法A 之γ调配方式

 
图八. 电阻胶体之混合示意图

     假设购入的胶体阻值为αw、βx、γy 与λz,由于阻值区间经过调整,因此购入的胶体阻值αw、βx、γy 与λz 虽然为变量,可是原料胶体阻值仍然有其允收之规格,如αw 虽为变量但范围在α1与α2内,假设现在目标阻值落于β1 与γ1 之间,其调配的方式如图九所示。

      由图九及图十中可知,β2 胶体调配时只用到2种原料胶体βx与γy,且不需判断βx 之大小,由于混合胶体种类少且胶体成分接近,因此可推测其所产生的预测误差将较为减少[3][4]。
由此可得方法B 之调配通式为:

 
其中β2与γ1为常数,βx为变量其范围在β1与β2之间;γy为变量范围在γ1与γ2。

      3.3 选择方案

      方法B 无论购入的原料胶体之电阻值为多少,只要变异在订购时所提规格的10%之内,代入本研究在调整区间后所计算出的回归方程式,即可算出所需要的膜重与配比,不必经试印作业而达到直接生产的目的,且方法B 从头到尾共混合了两次胶,然而仍然只有两种胶体在进行混合,较方法A 中的4 种胶体混合稳定,缺点是配比区间较原先的模式多了一倍。总体评估下仍然使用方法B 较佳,因此在此选择方法B 作为此研究的调胶配比方式,此两种方法之优缺点比较表如表二所示。

      四、实验步骤

     本研究分为三个实验阶段,第一阶段探讨网版膜厚对电阻值所产生的影响;第二阶段使用随机实验,印刷三种不同重量的膜重,观察电阻值是否有差异;第三阶段研究胶体配比所产生的电阻值,并找出配比回归方程式。

      4.1 实验一: 膜厚趋势性探讨

      本实验步骤为控制网版的张力与乳胶厚度,经过印刷与烧成后,量测其电阻层厚度,使用统计检测与实验设计的方法,推测出膜厚的可控制区间,进而在可控区间内改变制程参数,以便了解各制程参数与膜厚有何关联。

      4.2 实验二: 膜重与电阻值差异性探讨

      本实验固定网版与其他制程参数,印刷膜重在此取出三水平(膜重0.027g、膜重0.03g 与膜重0.033g),使用实验设计的方法随机实验5 次,并使用假设检定的手法探讨不同膜重彼此间电阻值是否有差异。

       4.3 实验三: 配比与电阻值相关性探讨

      由实验中得知膜重不同所得到的电阻值也不相同,因此也可以进一步探讨当膜重渐增时,相对于电阻值所造成的影响情况如何,如果有趋势性的情况发生,即可利用回归分析的方式,找出膜重与电阻值间的关系式。

      本研究的三个实验中,实验一使用统计的手法检定不同的网版张力是否会影响电阻值,如果具影响则日后的实验必须要固定网版张力才能减少实验的误差;而实验二则检定不同的印刷膜重是否也影响到电阻值,如果有影响则影响情况是否能观察出趋势性;实验三则针对改变原料胶体调配的比例,尝试找出可作为预测依据的回归关系式,本研究之实验流程图如图十一所示。

 
图十. γ1 胶体的调配流程图
表二. 调胶方式之优缺点比较表

 
     五、实验结果

     根据实验步骤所规划的顺序与方法,进行实验与数据的搜集,本实验必须进行实验一,分析出结果后方可进行实验二及实验三。

     5.1 实验一: 网版使用次数与膜重之相关性

     此实验主要探讨不同网版所印刷膜厚的差异性,使用相同印刷条件目的在于控制固定的变因,20N、30N 张力的网版实验量测后的资料如表三及表四所示。

     由图十二可得知20N 样本的第15 片基板膜厚产生异常的极端值,推测可能是量测时所造成的误差,在此将此异常值剔除,并重新计算20N 样本的统计量。

     假设检定:
     将两组不同网版所量测出来的数据,使用假说检定的方法,判断两组样本中是否有显著性的差异,其中两组样本皆为小样本(n<30),且母体变异数未知,因此检定方法使用t 检定,在显数水平α=0.05下,检定30N 网版所印刷的平均膜重是否大于20N网版的平均膜重。

 
图十一. 本研究之实验流程图

 
表三. 20N 网版湿膜重量表

 
表四. 30N 网版湿膜重量表

 
图十二. 不同网版膜重差异

在检定膜重之前,首先必须先检定两母体变异数是否相同。

 
H0:30N 网版印刷膜重变异等于20N 网版印刷膜重变异(ó1222)
H1:30N 网版印刷膜重变异不等于20N 网版印刷膜重变异(

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