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芯片电阻制程中厚膜印刷之免试印作业探讨
因为原料供货商所供应的原料胶体阻值是变动的,因此在订购β与γ此两种原料胶体后,所得到的胶体电阻值也无法固定,在此假设所购入的胶体电阻值分别为αw、βx、γy 与,λz 设其中w、x、y及z 为变量,若需求电阻值为eΩ分布在区间[β,γ]之内,则调配的步骤可分述如下: 1. 评估目标阻值eΩ位于哪一个调配区间(如区间[β,γ] )。 由于βx 为一变量,因此需调配成为固定常数之区间[β,γ]下边界阻值β,其调配流程如图六所示。
(2)方法B 之调配方式 方法B 的调配方式为改变阻值区间,也就是将原先的四种胶体阻值α、β、γ及λ扩大其区间的范围,使成为[α1,α2]、[β1,β2]、[γ1,γ2]与,[λ1,λ2]等,其区间所分布的状况如图八所示。 假设购入的胶体阻值为αw、βx、γy 与λz,由于阻值区间经过调整,因此购入的胶体阻值αw、βx、γy 与λz 虽然为变量,可是原料胶体阻值仍然有其允收之规格,如αw 虽为变量但范围在α1与α2内,假设现在目标阻值落于β1 与γ1 之间,其调配的方式如图九所示。 由图九及图十中可知,β2 胶体调配时只用到2种原料胶体βx与γy,且不需判断βx 之大小,由于混合胶体种类少且胶体成分接近,因此可推测其所产生的预测误差将较为减少[3][4]。
3.3 选择方案 方法B 无论购入的原料胶体之电阻值为多少,只要变异在订购时所提规格的10%之内,代入本研究在调整区间后所计算出的回归方程式,即可算出所需要的膜重与配比,不必经试印作业而达到直接生产的目的,且方法B 从头到尾共混合了两次胶,然而仍然只有两种胶体在进行混合,较方法A 中的4 种胶体混合稳定,缺点是配比区间较原先的模式多了一倍。总体评估下仍然使用方法B 较佳,因此在此选择方法B 作为此研究的调胶配比方式,此两种方法之优缺点比较表如表二所示。 四、实验步骤 本研究分为三个实验阶段,第一阶段探讨网版膜厚对电阻值所产生的影响;第二阶段使用随机实验,印刷三种不同重量的膜重,观察电阻值是否有差异;第三阶段研究胶体配比所产生的电阻值,并找出配比回归方程式。 4.1 实验一: 膜厚趋势性探讨 本实验步骤为控制网版的张力与乳胶厚度,经过印刷与烧成后,量测其电阻层厚度,使用统计检测与实验设计的方法,推测出膜厚的可控制区间,进而在可控区间内改变制程参数,以便了解各制程参数与膜厚有何关联。 4.2 实验二: 膜重与电阻值差异性探讨 本实验固定网版与其他制程参数,印刷膜重在此取出三水平(膜重0.027g、膜重0.03g 与膜重0.033g),使用实验设计的方法随机实验5 次,并使用假设检定的手法探讨不同膜重彼此间电阻值是否有差异。 4.3 实验三: 配比与电阻值相关性探讨 由实验中得知膜重不同所得到的电阻值也不相同,因此也可以进一步探讨当膜重渐增时,相对于电阻值所造成的影响情况如何,如果有趋势性的情况发生,即可利用回归分析的方式,找出膜重与电阻值间的关系式。 本研究的三个实验中,实验一使用统计的手法检定不同的网版张力是否会影响电阻值,如果具影响则日后的实验必须要固定网版张力才能减少实验的误差;而实验二则检定不同的印刷膜重是否也影响到电阻值,如果有影响则影响情况是否能观察出趋势性;实验三则针对改变原料胶体调配的比例,尝试找出可作为预测依据的回归关系式,本研究之实验流程图如图十一所示。
根据实验步骤所规划的顺序与方法,进行实验与数据的搜集,本实验必须进行实验一,分析出结果后方可进行实验二及实验三。 5.1 实验一: 网版使用次数与膜重之相关性 此实验主要探讨不同网版所印刷膜厚的差异性,使用相同印刷条件目的在于控制固定的变因,20N、30N 张力的网版实验量测后的资料如表三及表四所示。 由图十二可得知20N 样本的第15 片基板膜厚产生异常的极端值,推测可能是量测时所造成的误差,在此将此异常值剔除,并重新计算20N 样本的统计量。 假设检定: 在检定膜重之前,首先必须先检定两母体变异数是否相同。
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